Phase composition and transformations in magnetron-sputtered (Al,V)2O3 coatings [Elektronisk resurs]
-
Landälv, Ludvig, 1982- (författare)
-
Carlström, C-F (författare)
-
Lu, Jun, 1962- (författare)
-
Primetzhofer, D. (författare)
-
Jöesaar, M. J. (författare)
-
Ahlgren, M. (författare)
-
Göthelid, E. (författare)
-
Alling, Björn, 1980- (författare)
-
Hultman, Lars, 1960- (författare)
-
Eklund, Per, 1977- (författare)
-
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
Linköpings universitet Tekniska fakulteten (utgivare)
-
Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
- Publicerad: Elsevier, 2019
- Engelska.
-
Ingår i: Thin Solid Films. - 0040-6090.
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
- Relaterad länk:
-
http://www.liu.se (Värdpublikation)
Sammanfattning
Ämnesord
Stäng
- Coatings of (Al 1-x V x ) 2 O 3 , with x ranging from 0 to 1, were deposited by pulsed DC reactive sputter deposition on Si(100) at a temperature of 550 °C. XRD showed three different crystal structures depending on V-metal fraction in the coating: α-V 2 O 3 rhombohedral structure for 100 at.% V, a defect spinel structure for the intermediate region, 63–42 at.% V. At lower V-content, 18 and 7 at.%, a gamma-alumina-like solid solution was observed, shifted to larger d-spacing compared to pure γ-Al 2 O 3 . The microstructure changes from large columnar faceted grains for α-V 2 O 3 to smaller equiaxed grains when lowering the vanadium content towards pure γ-Al 2 O 3 . Annealing in air resulted in formation of V 2 O 5 crystals on the surface of the coating after annealing to 500 °C for 42 at.% V and 700 °C for 18 at.% V metal fraction respectively. The highest thermal stability was shown for pure γ-Al 2 O 3 -coating, which transformed to α-Al 2 O 3 after annealing to 1100 °C. Highest hardness was observed for the Al-rich oxides, ~24 GPa. The latter decreased with increasing V-content, larger than 7 at.% V metal fraction. The measured hardness after annealing in air decreased in conjunction with the onset of further oxidation of the coatings.
Ämnesord
- Natural Sciences (hsv)
- Physical Sciences (hsv)
- Naturvetenskap (hsv)
- Fysik (hsv)
Genre
- government publication (marcgt)
Indexterm och SAB-rubrik
- Aluminum vanadium oxide Pulsed DC magnetron sputtering Annealing V2O5 AlVO4 AlVO3
Inställningar
Hjälp
Beståndsinformation saknas