Epitaxial growth of Al-Cr-N thin films on MgO(111) [Elektronisk resurs]
-
Willmann, Herbert (författare)
-
Beckers, Manfred (författare)
-
Birch, Jens (författare)
-
Mayrhofer, P.H. (författare)
-
Mitterer, C. (författare)
-
Hultman, Lars (författare)
-
- Linköpings universitet Institutionen för fysik, kemi och biologi (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Institutionen för fysik och mätteknik, biologi och kemi
(tidigare namn)
-
Alternativt namn: IFM
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics and Measurement Technology, Biology and Chemistry
-
Alternativt namn: Engelska : Department of Physics, Chemistry and Biology
-
- Linköpings universitet Tekniska högskolan (utgivare)
-
-
Alternativt namn: Linköpings universitet. Tekniska fakulteten
-
Alternativt namn: Linköpings tekniska högskola
-
Alternativt namn: Tekniska högskolan vid Linköpings universtiet
-
Alternativt namn: LiTH
-
Alternativt namn: Linköping University. Institute of Technology
-
Se även: Universitet i Linköping Tekniska högskolan
- 2008
- Engelska.
-
Ingår i: Thin Solid Films. - 0040-6090. ; 517:2, 598-602
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
-
Läs hela texten
Sammanfattning
Ämnesord
Stäng
- Cubic rock salt structure Al 0.60 Cr 0.40 N and Al 0.68 Cr 0.32 N films of different thicknesses were grown epitaxially onto MgO(111) substrates by reactive unbalanced magnetron sputtering at 500°C. Rutherford backscattering spectroscopy reveals stoichiometric nitrides with Al/Cr ratios close to the ones of the used compound targets of 60/40 and 70/30. High resolution x-ray diffraction proves epitaxial growth over the whole film thickness up to thicknesses of ~1.8 µm. Reciprocal space maps and selected area electron diffraction show that the Al x Cr 1-x N films grow fully relaxed. Scanning and transmission electron microscopy imaging reveals columnar microstructures with column widths between 12–16 nm and {001} surface faceting on individual columns. The fully relaxed growth and the columnar structure can be attributed to limited ad‑atom mobility on the initial Al x Cr 1-x N(111) growth surface.
Indexterm och SAB-rubrik
- AlCrN
- CrAlN
- Coherence length
- Mosaicity
- Wurtzite structure
- Epitaxy
Inställningar
Hjälp
Beståndsinformation saknas